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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:1998-12-30
Journal:半导体杂志
Issue:04
Page Number:40-44
ISSN No.:1005-3077
Key Words:等离子体技术;微细加工技术
Abstract:简要介绍了等离子体技术和微细加工技术。叙述了等离子体技术在微细加工技术的三个主要方面———微细图形加工、离子注入、薄膜沉积———中的应用。
Pre One:深亚微米MOS器件的物理、结构与工艺
Next One:伴生高阻层电阻率的估算
