Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 1998-12-30

Journal: 半导体杂志

Issue: 04

Page Number: 40-44

ISSN: 1005-3077

Key Words: 等离子体技术;微细加工技术

Abstract: 简要介绍了等离子体技术和微细加工技术。叙述了等离子体技术在微细加工技术的三个主要方面———微细图形加工、离子注入、薄膜沉积———中的应用。