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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：凝聚态物理. 微电子学与固体电子学
办公地点：物理学院431
联系方式：15904250968
电子邮箱：dbd01@dlut.edu.cn
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等离子体技术在微细加工中的应用
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论文类型：期刊论文
发表时间：1998-12-30
发表刊物：半导体杂志
期号：04
页面范围：40-44
ISSN号：1005-3077
关键字：等离子体技术;微细加工技术
摘要：简要介绍了等离子体技术和微细加工技术。叙述了等离子体技术在微细加工技术的三个主要方面———微细图形加工、离子注入、薄膜沉积———中的应用。