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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：凝聚态物理. 微电子学与固体电子学
办公地点：物理学院431
联系方式：15904250968
电子邮箱：dbd01@dlut.edu.cn
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深亚微米MOS器件的物理、结构与工艺
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论文类型：期刊论文
发表时间：2000-03-30
发表刊物：半导体杂志
期号：01
页面范围：35-39
ISSN号：1005-3077
关键字：深亚微米MOS器件
摘要：本文从器件物理、器件结构和工艺等三个方面介绍了深亚微米器件。包括 :短沟道效应 ;LDD和SOI结构 ;移相掩模光刻技术和多层金属布线工艺。