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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：凝聚态物理. 微电子学与固体电子学
办公地点：物理学院431
联系方式：15904250968
电子邮箱：dbd01@dlut.edu.cn
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电化学刻蚀制备多孔InP
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论文类型：会议论文
发表时间：2006-07-24
卷号：Vol.37
页面范围：324-325
关键字：多孔InP;电化学刻蚀;耗尽层;场强化效应;扫描电子显微镜
摘要：利用扫描电子显微镜(SEM)对电化学刻蚀多孔InP的形貌进行了表征,用耗尽层模型和场强化效应模型讨论了多孔InP刻蚀的机制.