射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的进一步研究
Release Time:2019-03-11 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2008-06-15
Journal: 辽宁师范大学学报（自然科学版）
Included Journals: ISTIC
Volume: 31
Issue: 2
Page Number: 158-161
ISSN: 1000-1735
Key Words: 射频等离子体;调谐基片自偏压;正反馈
Abstract: 在已有的调谐基片自偏压研究的基础上,进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响;研究了基片分支串联电阻对基片自偏压的影响,发现了在电阻值区自偏压自振荡现象;在不同的放电参数下,采用自制诊断工具测量了射频感应耦合等离子体电子温度、电子密度等参量的空间分布.并对基片自偏压相应的实验现象给出了物理模型解释.