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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2008-07-01

Journal:物理学报

Included Journals:SCIE、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:57

Issue:7

Page Number:4304-4315

ISSN No.:1000-3290

Key Words:射频等离子体;感性耦合;容性耦合;模式转化

Abstract:利用Z-scan、电流、电压探头,通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参数,研究了匹配网络、人线耦合强度、导电地面积、气压等多种因素对E,H放电模式特性及模式转化行为的影响.基于Γ型阻抗匹配网络中串联电容对射频电源输出功率的影响,提出了E-H放电模式转化的正负反馈区概念.研究发现:在相同的其他放电条件下,处于正反馈区时等离子体放电易于产生跳变型模式转化,而且模式跳变的临界天线电流、回滞宽度、跳变临界功率、跳变功率差等参数均随阻抗匹配网络参数产生明显变化;在负反馈区内,模式转化过程趋于连续.山于阻抗匹配网络的影响,E-H模式的跳变电流并不是总大于H-E模式的跳变电流.在小同导电地面积、阻抗匹配网络、气压下,模式转化过程中等离子体直流悬浮电位的变化呈现多样性.