Release Time:2019-03-11  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2012-09-25

Journal: 真空

Included Journals: ISTIC

Volume: 49

Issue: 5

Page Number: 57-61

ISSN: 1002-0322

Key Words: 射频等离子体;尘埃空洞;尘埃云;尘埃颗粒;周期振荡;旋转

Abstract: 本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气.在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞.通过观察尘埃云体积的变化及尘埃空洞随时间的周期振荡现象,分析尘埃空洞的基本性质,通过记录尘埃颗粒随时间的运动轨迹,初步推断出尘埃颗粒的受力情况,结合尘埃颗粒和尘埃空洞的运动规律,得出射频等离子体中尘埃空洞的特性及形成原因.