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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2012-09-25
Journal:真空
Included Journals:ISTIC
Volume:49
Issue:5
Page Number:57-61
ISSN No.:1002-0322
Key Words:射频等离子体;尘埃空洞;尘埃云;尘埃颗粒;周期振荡;旋转
Abstract:本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气.在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞.通过观察尘埃云体积的变化及尘埃空洞随时间的周期振荡现象,分析尘埃空洞的基本性质,通过记录尘埃颗粒随时间的运动轨迹,初步推断出尘埃颗粒的受力情况,结合尘埃颗粒和尘埃空洞的运动规律,得出射频等离子体中尘埃空洞的特性及形成原因.
