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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2012-03-25
Journal:真空
Included Journals:ISTIC
Volume:49
Issue:2
Page Number:86-91
ISSN No.:1002-0322
Key Words:光学发射谱线诊断;脉冲调制;磁场强度;谱线相对强度;电子激发温度
Abstract:本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa～65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以及Ar离子的光谱线相对强度随气压、射频功率、调制频率、占空比和磁场强度大小的变化规律.
