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带中心孔的复合超声变幅杆设计及性能分析

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2015-01-01

Journal:机械设计

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:32

Issue:6

Page Number:51-55

ISSN No.:1001-2354

Key Words:超声; 复合变幅杆; 中心孔; 四端网络; 传输矩阵

Abstract:带中心孔的变幅杆可以实现旋转超声加工的中心供冷却液或气体,具有良好的冷却和排屑效果。针对单一形状变幅杆难以实现大振幅的超声振动,对带中心孔的复合
   超声变幅杆的设计原理和方法进行研究。根据任意截面杆的波动方程,得到带中心孔单一形状变幅杆的传输方程和传输矩阵,并通过对总体四端网络的传输方程和传
   输矩阵的运算,推导出带中心孔的圆锥过渡复合变幅杆的频率方程和放大倍数的一般公式。根据推导出的频率方程,设计出典型的复合变幅杆,并对所设计的变幅杆
   进行频率测试,测得的变幅杆频率与理论计算频率的误差在5%以内。研究带中心孔的圆锥过渡复合变幅杆各段长度及中心孔直径对变幅杆频率的影响规律,为复合
   变幅杆设计和调整提供了理论依据。

Pre One:Warping of silicon wafers subjected to back-thinning process

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