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教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 国际磨粒技术学会(International Committee of Abrasive Technology, ICAT)委员,中国机械工程学会极端制造分会副主任、生产工程分会常务委员、微纳米制造技术分会常务委员,中国机械工程学会生产工程分会磨粒加工技术专业委员会副主任、切削加工专业委员会常委委员、精密工程与微纳技术专业委员会常委委员,中国机械工程学会特种加工分会超声加工技术委员会副主任,中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会常务委员,中国机械工业金属切削刀具协会切削先进制造技术研究会常务理事、对外学术交流工作委员会副主任、切削先进制造技术研究会自动化加工技术与系统委员会副主任。
性别:男
毕业院校:西北工业大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:机械制造及其自动化. 机械电子工程. 航空宇航制造工程
办公地点:机械工程学院7191
电子邮箱:kangrk@dlut.edu.cn
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抛光加工参数对KDP晶体材料去除和表面质量的影响
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论文类型:期刊论文
发表时间:2010-02-15
发表刊物:人工晶体学报
收录刊物:EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号:39
期号:1
页面范围:29-33,43
ISSN号:1000-985X
关键字:KDP晶体;无磨料抛光;材料去除;表面质量
摘要:针对软脆易潮解KDP功能晶体材料的加工难点,提出了一种基于潮解原理的无磨料化学机械抛光新方法,研制了一种非水基无磨料抛光液,该抛光液结构为油包水型微乳液.通过控制抛光液中的含水量可以方便地控制KDP晶体静态蚀刻率和抛光过程中材料的去除率.实验中还研究了不同加工参数对晶体材料去除率和已加工表面质量的影响.该抛光液的设计为易潮解晶体的超精密抛光加工提供了一条新的技术途径.