杜立群
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:女
毕业院校:东北大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点:西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱:duliqun@dlut.edu.cn
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PZT压电薄膜无阀微泵
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论文类型:期刊论文
发表时间:2008-08-25
发表刊物:功能材料与器件学报
收录刊物:PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号:14
期号:4
页面范围:793-798
ISSN号:1007-4252
关键字:微泵;PZT压电薄膜;MFX-ANSYS/CFX;流固耦合
摘要:介绍了一种基于PZT压电薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件、聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.本文在对微豕制备工艺研究的基础上,对其性能进行了数值和实验研究.建立了基于扩张管/收缩管理论的无阀微泵的有限元模型.利用MFX-AN-SYS/CFX技术实现了对微泵的双向流固耦合分析.对微泵的锥形角、最小宽度、扩散管长度、泵腔高度进行数值计算,得到了优化参数.数值计算的结果与实际测量的数据进行了比较,验证了仿真的正确性.