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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-10-15
发表刊物：压电与声光
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号：30
期号：5
页面范围：621-623
ISSN号：1004-2474
关键字：UV-LIGA;SU-8胶;微电铸;热溶胀性
摘要：对SU-8胶的热溶胀效应及其机理进行了研究,在现有微模具的UV-LIGA工艺的基础上,利用ANSYS对SU-8胶的热溶胀性规律进行了仿真分析.通过SU-8胶模的溶胀实验,建立了热溶胀变形的速率模型,并计算了不同电铸时间下微模具的顶部线宽,计算结果与实验值基本吻合.仿真结果可用来优化掩模图形的设计及预测电铸后微模具的尺寸.