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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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一种玻璃微流控芯片的实用制作工艺研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2006-12-20
发表刊物：分析科学学报
收录刊物：ISTIC、CSCD
卷号：22
期号：6
页面范围：671-674
ISSN号：1006-6144
关键字：玻璃微流控芯片;湿法刻蚀;热键合
摘要：本文提出了一种在商品化的SG4009玻璃上制作50×50 mm微流控芯片的方法.SG4009玻璃表面有厚度570 nm的光刻胶S-1085和厚度145 nm的Cr层组成的掩蔽层,省去制作掩蔽层的时间和设备,降低了生产成本,缩短了生产周期.对芯片制作过程中的一些问题进行分析研究,提出相应的解决方案,保证了芯片的制作质量.