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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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基于UV-LIGA技术的微注塑金属模具的工艺研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2006-10-15
发表刊物：微细加工技术
收录刊物：ISTIC、Scopus
期号：5
页面范围：51-54
ISSN号：1003-8213
关键字：微电铸;UV-LIGA工艺;SU-8光刻胶;微注塑模具
摘要：介绍了一种新颖的微注塑模具的制作方法--无背板生长法,它是利用负性厚SU-8光刻胶,通过低成本的UV-LIGA表面微加工工艺,直接在金属基板上电铸镍图形而制作完成的.讨论了SU-8胶与基底的结合特性以及几种去除SU-8胶的有效方法,所制作的微注塑模具已用于微注塑加工中.无背板生长工艺的突出优点是微电铸时间短、模具质量高,而且还适合于制作其他微机械组件,是目前MEMS领域中比较有发展前途的加工方法.