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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2006-05-30
发表刊物：传感技术学报
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号：19
期号：5
页面范围：1481-1483,1487
ISSN号：1004-1699
关键字：无背板生长工艺;微电铸;周期换向电流;均匀性
摘要：针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电流微电铸实验基础上总结出来的工艺参数.实验结果表明,由于负向电流腐蚀铸层表面的微观突起,脉冲间断时间消除微电铸阴极表面的浓差极化,正负脉冲电流获得了较好的微电铸均匀性.