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论文类型：期刊论文

发表时间：2006-05-30

发表刊物：传感技术学报

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：19

期号：5

页面范围：1523-1526

ISSN号：1004-1699

关键字：SU-8胶;菲涅耳衍射;尺寸公差;紫外光刻

摘要：对SU-8胶微结构的尺寸及其公差进行了定量研究.在考虑了SU-8的吸收系数和折射系数对紫外光刻尺寸精度影响的基础上,根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型和尺寸公差模型,对SU-8微结构的尺寸及其公差进行数值模拟.以硅为基底,进行了SU-8胶紫外光刻的实验研究.实验中掩模的特征宽度分别取50 μm、100μm、200μm和400 μm,SU-8胶表面的曝光剂量分别取400mJ/cm2和800mJ/cm2,测量了SU-8胶微结构的顶部线宽、底部线宽和SU-8胶的厚度,数值模拟结果与实验结果基本吻合.可以用本文的模型来预测SU-8微结构的尺寸及其公差.