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电子束注入对多晶硅Si/SiO2界面处杂质硼迁移的影响研究

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Leading Scientist:Yi Tan

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:51074032

Date of Project Approval:2010-09-25

Scheduled completion time:2013-12-31

Date of Project Initiation:2011-01-01

Date of Project Completion:2013-12-31

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