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冶金法制备太阳能级多晶硅中的真空精炼研究

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Leading Scientist:Yi Tan

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:U1137601

Date of Project Approval:2011-09-25

Scheduled completion time:2015-12-31

Date of Project Initiation:2012-01-01

Date of Project Completion:2015-12-31

Pre One:电子束轰击作用下硅熔体非均态界面区挥发性杂质P运动机理的研究

Next One:电子束注入对多晶硅Si/SiO2界面处杂质硼迁移的影响研究