论文名称：真空感应熔炼和定向凝固制备多晶硅中铝的除杂
论文类型：期刊论文
发表刊物：材料研究学报
收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号：24
期号：4
页面范围：373-377
ISSN号：1005-3093
关键字：无机非金属材料; 多晶硅; 真空感应熔炼; 定向凝固; 铝
摘要：用真空感应熔炼和定向凝固法制备多晶硅,通过成分测定和理论计算研究了铝杂质的除杂机理. 结果表明,在真空熔炼保温阶段(T≥1723
   K),硅中的铝杂质明显蒸发;在随后的定向凝固过程中,铝杂质的分凝偏析是主要的,但仍有部分铝蒸发.
   建立了一个包括铝分凝和蒸发机制的新模型,模拟铝在硅中的分布曲线. 模拟结果与铝在硅中的实际分布符合得很好
发表时间：2010-01-01