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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2006-12-30

Journal:光学精密工程

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:14

Issue:6

Page Number:980-985

ISSN No.:1004-924X

Key Words:精密齿轮;渐开线齿形;测量原理;双盘式测量仪

Abstract:分析了双基圆盘式渐开线测量仪的测量原理,其具有结构简单、测量过程中无测头位置引起的阿贝误差等特点.该仪器采用交叉弹簧片的铰链结构作为误差传递杠杆,其灵敏度高、无间隙.经过对仪器的主要测量误差源进行补偿后,其系统的测量不确定度(U95)＜±0.5 μm,测量精度可以满足1级渐开线齿形的测量要求.通过与其它渐开线齿形测量方法的比较,双基圆盘式渐开线测量仪仅在测量自动化和多功能性等方面不如CNC齿形量仪,其在测量精度与制造经济性等方面更具优势,是超精密渐开线齿形测量的理想方法.