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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2016-07-28

Journal:中国激光

Included Journals:PKU、ISTIC

Issue:10

Page Number:1-12

ISSN No.:0258-7025

Key Words:光纤;压力;EFPI;传感器;石英毛细管

Abstract:为了简化非本征型法布里-珀罗干涉（EFPI）传感器的制作工艺，充分发挥其压力测量高精确度的优势，便于大规模工业化应用。介绍了一种简单结构的熔接式全石英光纤 EFPI 高静压传感器，对传感器的压力效应进行了理论分析，给出传感探头设计结构和制作过程。和一般的传统 EFPI 传感器相比，此传感器具有大腔长，结构简单，制作工艺简易，应用灵活方便等优点，可以用于较高静态压力的测量。建立了传感解调系统，对压力进行了测试，测量精确度高，稳定性好。同时进行了温度敏感度测量实验，温度交叉敏感度低。该传感器在 0-20MPa 压力测量范围内，压力腔长灵敏度可以达到 21nm/MPa,连续 10 小时动态测量条件下，测量偏差为 0.2%FS。