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电子束熔炼时间对多晶硅杂质去除效果研究

Release Time:2019-03-09  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2009-10-23

Page Number: 96-97

Key Words: 电子束熔炼;熔炼时间;太阳能级硅;杂质去除

Abstract: 采用电子束熔炼对98.8%的工业硅进行提纯,研究电子束熔炼参数的变化对各种杂质元素的去除效果,同时分析熔炼后杂质元素在硅锭上的分布状态。实验结果表明。电子束熔炼对硅中的主要杂质都有一定的去除效果,对P、Ca、Al效果较为明显,熔炼时间越长效果越好。

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