Release Time:2024-05-09  Hits:

Indexed by: Journal Papers

Document Code: 389938

Date of Publication: 2024-01-01

Journal: 中国科学基金

Volume: 38

Issue: 1

Page Number: 99-114

ISSN: 1000-8217

Key Words: 原子层制造; 原子层制造工艺与装备; 原子层抛光; 原子层损伤控制; 原子层沉积/刻蚀

CN: 11-1730/N