大连理工大学主页平台管理系统夏晓川--中文主页-- 一种用于高质量氧化物半导体材料制备的MOCVD加热盘

夏晓川

学位：博士
职称：副教授
学科：微电子学与固体电子学
所在单位：集成电路学院

教师拼音名称：xiaxiaochuan
硕士生导师
博士生导师
主要任职：集成电路学院副院长
其他任职：副院长
性别：男
毕业院校：吉林大学
所在单位：集成电路学院
办公地点：大连理工大学开发区校区信息楼211室
联系方式：0411-84707865
电子邮箱：xiaochuan@dlut.edu.cn

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标题：

一种用于高质量氧化物半导体材料制备的MOCVD加热盘

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第一作者：

柳阳

发明设计人：

梁红伟,夏晓川,申人升,陈远鹏

申请号：

CN201710261163.9

授权日期：

2017-04-21

授权号：

CN107083541A

授权日期：

2017-04-21

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