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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：手机：15104088992
电子邮箱：gaoshang@dlut.edu.cn
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晶圆减薄装备整机精度生成与损伤理论
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负责人姓名：康仁科
项目参与人员：高尚
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：重大项目课题
项目状态：在研
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：51991372
立项时间：2019-12-02
计划完成时间：2024-12-31
开始日期：2020-01-01