高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
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研究领域
1. 精密与超精密加工技术
2. 半导体制造技术
- .朱祥龙,董志刚,康仁科,高尚.石英晶片化学机械抛光工艺优化[J],微纳电子技术,2023,60(01):159-164
- 高尚.郭晓光,董志刚,朱祥龙,康仁科.基于精密加工技术的开放性创新实验教学研究[J],科教导刊,2023(05):89-91
- 高尚.Gao, Shang.康仁科.Effect of abrasives interference on deformation and material removal mechanism of single crystal YAG in abrasive machining[J],MATERIALS CHARACTERIZATION,2025,222
- .Dong, Zhigang.高尚,康仁科,董志刚.Oxidation behavior and mechanism of 4H-SiC surface by holes in electrochemical and photoelectrochemical systems[J],APPLIED SURFACE SCIENCE,2025,686
- 高尚.Shang Gao.董志刚,康仁科.Dispersal mechanism of different dispersants and its effect on performance of 4H-SiC polishing slurry[J],CERAMICS INTERNATIONAL,2025,51(3):3943-3952
- .Gao, Shang.董志刚,康仁科,高尚.Insights into the role of electrolytes in slurry performance for photoelectrochemical mechanical polishing of GaN wafers[J],JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH AND TECHNOLOGY-JMR&T,2025,36:2096-2104