![]() |
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:机械制造及其自动化
办公地点:机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式:手机:15104088992
电子邮箱:gaoshang@dlut.edu.cn
扫描关注
-
1. 精密与超精密加工技术
2. 半导体制造技术
- 宋鑫, 胡博宇, Guo, Jiani, 康仁科, 高尚.Double-Oxidant-Induced Slurry Reaction Mechanism and Performance on Chemical Mechanical Polishing of 4H-SiC (0001) Wafer.[J],Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids,2024
- 顾志斌, 王浩祥, 宋鑫, 康仁科, 高尚.单晶碳化硅电化学机械抛光液的组分设计与优化[J],金刚石与磨料磨具工程,2024,44(05):675-684
- 杨鑫, 董志刚, 康仁科, 高尚.Cleavage and anisotropy dependence of material removal behavior of monocrystalline β-Ga2O3 in abrasive machining[J],Wear,2024
- 王崇昆, 耿大彦, 王凯旋, 郭晓光, 高尚.Effects of Ar ion bombardment on the structure and properties of β-quartz[J],CERAMICS INTERNATIONAL,2024,50(21):43264-43278
- Xue, Saisai, 贾玙璠, 郭晓光, 高尚, 康仁科.基 于 磨 粒 三 维 轨 迹 的 钽 酸 锂 双 面 研 磨 均 匀 性[J],Optics and Precision Engineering,2024,32(13):2081-2090
- Zhang, Shuohua, 郭晓光, 金洙吉, 康仁科, Tang, William C, 高尚.Subnanoscale Ion Beam Modification-Assisted Smoothing of Heterostructure Surfaces[J],ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES,2024,16(29):38744-38756