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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：手机：15104088992
电子邮箱：gaoshang@dlut.edu.cn
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Effects of taping on grinding quality of silicon wafers in backgrinding
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发表时间：2022-10-02
发表刊物：FRONTIERS OF MECHANICAL ENGINEERING
所属单位：机械工程学院
卷号：16
期号：3
页面范围：559-569
ISSN号：2095-0233
关键字："taping; silicon wafer; backgrinding; subsurface damage; surface roughness"