|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：手机：15104088992
电子邮箱：gaoshang@dlut.edu.cn
扫描关注
Study on Grinding Performance of Soft Abrasive Wheel for Silicon Wafer
点击次数：
发表时间：2022-10-09
发表刊物：ADVANCES IN GRINDING AND ABRASIVE TECHNOLOGY XV
所属单位：机械工程学院
卷号：416
页面范围：529-534
ISSN号：1013-9826
关键字："Silicon wafer; Grinding; Soft abrasive wheel; Subsurface damage"