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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
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弹性磨抛轮加工硅片面形预测模型及试验验证
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论文类型：期刊论文
论文编号：387462
发表时间：2024-01-01
发表刊物：表面技术
卷号：53
期号：3
页面范围：22-27,46
ISSN号：1001-3660
关键字：去除均匀性; 硅片; 磨削; 磨抛轮; 磨粒切削深度; 面形仿真
CN号：50-1083/TG