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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
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A new polishing method for complex structural parts: Moist particle electrolyte electrochemical mechanical polishing (MPE-ECMP)
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论文类型：期刊论文
论文编号：363618
发表时间：2023-05-18
发表刊物：ELECTROCHEMISTRY COMMUNICATIONS
卷号：150
ISSN号：1388-2481
关键字：COPPER; LAYER; OXIDATION; PLANARIZATION; STEEL