高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
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Subnanoscale Ion Beam Modification-Assisted Smoothing of Heterostructure Surfaces
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论文类型：期刊论文
论文编号：394881
发表时间：2024-07-09
发表刊物：ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES
卷号：16
期号：29
页面范围：38744-38756
ISSN号：1944-8244
关键字：IRRADIATION; MICROSTRUCTURE; SILICON