高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
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Ultraprecision machining for single-crystal silicon carbide wafers: State-of-the-art and prospectives
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论文类型：期刊论文
论文编号：480762
发表时间：2025-01-01
发表刊物：Journal of Advanced Manufacturing Science and Technology
卷号：5
期号：2
ISSN号：2709-2135
关键字：Grinding; Lapping; Polishing; Semiconductor material; Single crystal SiC; Ultraprecision machining