高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
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Micro-mechanisms of surface oxidation and material removal in photoelectrochemical mechanical polishing of 4H-SiC: Insights from ReaxFF-MD simulation
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论文类型：期刊论文
论文编号：480180
发表时间：2025-11-18
发表刊物：TRIBOLOGY INTERNATIONAL
卷号：211
ISSN号：0301-679X
关键字：ATOMISTIC MECHANISMS; ENVIRONMENT; MOLECULAR-DYNAMICS SIMULATIONS; REACTIVE FORCE-FIELD; SILICON