高尚
|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
电子邮箱：
移动版主页
一种半导体晶片光电化学机械抛光加工装置及加工方法
点击次数：
第一作者：董志刚
发明设计人：时康,康仁科,欧李苇,朱祥龙,高尚
所属单位：机械工程学院
申请日期：2019-12-13
申请号：PCT/CN2019/125072
授权日期：2023-07-05