高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
电子邮箱：
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一种光化学与机械抛光相结合的半导体晶片加工方法
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第一作者：董志刚
发明设计人：康仁科,欧李苇,时康,高尚,朱祥龙
所属单位：机械工程学院
申请日期：2018-12-14
申请号：201811535751.8