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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2009-04-15

Journal:人工晶体学报

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD、Scopus、EI

Volume:38

Issue:2

Page Number:525-528,534

ISSN No.:1000-985X

Key Words:KDP晶体;清洗方法;表面质量

Abstract:为了提高KDP晶体的表面质量,减少清洗时新损伤的引入,降低清洗过程对抛光后晶体表面质量的影响,本文采用超声波、酒精棉、擦镜纸以及酒精棉与擦镜纸相结合的方法,对抛光后的KDP晶体表面进行了清洗.利用光学显微镜对不同清洗方法得到的表面质量进行检测对比.结果表明,酒精棉与擦镜纸相结合进行清洗为较理想的清洗方法,可以有效防止清洗中存在的表面潮解及新划痕的引入,清洗后的抛光表面粗糙度Ra为2.152 nm.