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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
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Microscopic stress analysis of nanoscratch induced sub-surface defects in a single-crystal silicon wafer
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论文类型：期刊论文
论文编号：369626
发表时间：2023-07-18
发表刊物：PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
卷号：82
页面范围：290-303
ISSN号：0141-6359
关键字：CUTTING BEHAVIOR; DAMAGE; DEFORMATION; MATERIAL REMOVAL; MECHANISMS; MODEL; PREDICTION