周平
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:机械制造及其自动化
办公地点:大连理工大学机械工程学院知方楼5009
联系方式:pzhou@dlut.edu.cn
电子邮箱:pzhou@dlut.edu.cn
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Microscopic stress analysis of nanoscratch induced sub-surface defects in a single-crystal silicon wafer
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发表时间:2024-06-07
发表刊物:Precision Engineering
卷号:82
页面范围:290-303
ISSN号:0141-6359