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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
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Dislocation slip mechanism and prediction method during the ultra-precision grinding process of monocrystalline silicon
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论文类型：期刊论文
论文编号：391326
发表时间：2024-07-29
发表刊物：MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
卷号：177
ISSN号：1369-8001
关键字：ANISOTROPY; DAMAGE; DEFORMATION; LOAD; SINGLE-CRYSTAL SILICON