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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
联系方式：pzhou@dlut.edu.cn
电子邮箱：pzhou@dlut.edu.cn
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Dislocation slip mechanism and prediction method during the ultra-precision grinding process of monocrystalline silicon
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发表时间：2024-05-22
发表刊物：Materials Science in Semiconductor Processing
卷号：177
ISSN号：1369-8001
关键字：Atomistics; Dislocation slip; Forecasting; Grinding (machining); Grinding process; Initiation mechanism; Molecular dynamic models; Monocrystalline silicon; Prediction methods; Shear stress; Single-grains; Single grain scratch; Slip-mechanism; Ultraprecision grinding