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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
联系方式：pzhou@dlut.edu.cn
电子邮箱：pzhou@dlut.edu.cn
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Surface microtopography evolution of monocrystalline silicon in chemical mechanical polishing
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发表时间：2024-05-22
发表刊物：Journal of Materials Processing Technology
卷号：328
ISSN号：0924-0136
关键字：Acceleration; Atomic removal form; Chemical mechanical polishing; Curve fitting; Frequency features; High spatial frequency; High-spatial-frequency roughness; Mechanical; Mechanical action; Molecular dynamics; Power spectral density; Reaction kinetics; Spatial frequency; Surface microtopography; Surface microtopography evolution; Surface roughness; Ultra smooth surface