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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：大连理工大学机械工程学院知方楼5009
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抛光垫微观接触对化学机械抛光材料去除的影响及其跨尺度建模方法
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论文类型：期刊论文
论文编号：379884
发表时间：2023-08-01
发表刊物：金属加工(冷加工)
期号：08
页面范围：78
ISSN号：1674-1641
关键字：化学机械抛光; 建模方法; 微观接触; 抛光垫; 材料去除