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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械学院大方楼5021
联系方式：djwudut@dlut.edu.cn 84707625
电子邮箱：djwudut@dlut.edu.cn
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长脉宽脉冲激光硅片弯曲成形试验
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论文类型：期刊论文
发表时间：2007-09-15
发表刊物：光学精密工程
收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号：15
期号：9
页面范围：1361-1365
ISSN号：1004-924X
关键字：激光弯曲;硅片;脉冲频率;脉冲宽度;脉冲占空比
摘要：利用毫秒脉宽Nd:YAG激光对硅片进行了弯曲试验,给出了长脉宽脉冲激光弯曲硅片的能量阈值条件.研究了长脉宽Nd:YAG激光脉冲频率和脉冲宽度参数对硅片弯曲角度的影响,同时说明了脉冲频率和脉冲宽度参数对弯曲角度的影响可以转换成扫描速度和功率密度对弯曲角度的影响,并对试验结果进行了分析,引入了脉冲占空比来表征能量的时域分布对弯曲现象的影响.试验结果表明,采用毫秒量级脉冲激光可以对硅片进行弯曲加工,弯曲角度可达20°以上.