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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械学院大方楼5021
联系方式：djwudut@dlut.edu.cn 84707625
电子邮箱：djwudut@dlut.edu.cn
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利用图像处理技术评价硅片表面清洗率
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论文类型：期刊论文
发表时间：2007-08-15
发表刊物：光学精密工程
收录刊物：Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号：15
期号：8
页面范围：1263-1268
ISSN号：1004-924X
关键字：激光清洗;硅片;清洗率;图像处理
摘要：介绍了一种基于Matlab图像处理工具箱技术的评价硅片表面污染颗粒激光清洗率的新方法.借助Matlab图像处理工具箱,对清洗前后硅片表面光学显微镜照片进行处理,编写硅片表面激光干法清洗率的评价程序,统计清洗前后硅片表面评价区域的污染颗粒个数,对清洗效果进行定量评价.研究结果证明,利用此方法统计的颗粒数准确度达97.6%,得到的激光清洗率准确度达99.2%.结果表明,借助图像处理技术评定清洗效果是一种高效、快速、准确的新方法.