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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械学院大方楼5021
联系方式：djwudut@dlut.edu.cn 84707625
电子邮箱：djwudut@dlut.edu.cn
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位错对薄硅片激光弯曲过程的影响
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-05-15
发表刊物：中国激光
收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号：35
期号：5
页面范围：772-775
ISSN号：0258-7025
关键字：激光技术;激光弯曲;滑移线;堆垛层错;位错理论;位错浓度;位错移动
摘要：基于开展的薄硅片长脉冲激光弯曲成形实验,针对弯曲样品表面产生的滑移线和堆垛层错缺陷,结合实验所用规格硅片弯曲角度不超过35°的现象,运用位错理论分析在弯曲过程中硅晶体产生位错、层错现象的原因以及位错对激光弯曲成形的影响.说明了滑移线主要是位错堆积产生滑移的表现形式,而堆垛层错是位错相互叠加产生的不全位错导致的结果;提出薄硅片弯曲成形受到位错浓度和位错移动速度变化的影响.