Release Time:2019-03-11  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2004-03-25

Journal: 功能材料与器件学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 10

Issue: 1

Page Number: 1-8

ISSN: 1007-4252

Key Words: 微型夹钳;微装配;微机电系统;微系统技术

Abstract: 微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容,应用于微装配等领域,在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用.本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾,对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析,介绍了微型夹钳的最新研究进展,概括了研究特点及发展趋势.