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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2010-11-15

Journal:仪器仪表学报

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:31

Issue:11

Page Number:2494-2499

ISSN No.:0254-3087

Key Words:MEMS测试;动态特性的测试;高温环境;微悬臂梁;激励装置

Abstract:对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率.利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果.