Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2010-11-15

Journal: 仪器仪表学报

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 31

Issue: 11

Page Number: 2494-2499

ISSN: 0254-3087

Key Words: MEMS测试;动态特性的测试;高温环境;微悬臂梁;激励装置

Abstract: 对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率.利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果.