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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2010-11-15

Journal:仪器仪表学报

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:31

Issue:11

Page Number:2574-2579

ISSN No.:0254-3087

Key Words:力学状态;聚合物;超声波;精密联接

Abstract:针对聚合物微器件的联接搭建了超声波精密联接系统.该系统选用工作频率为60 kHz的超声换能器提供高频、低振幅超声波振动,以降低振动对微结构的影响.应用高细分步进电机及直线导轨驱动超声波工具头的纵向移动,并为联接提供压力.提出了基于力学状态反馈的超声波精密联接流程,联接过程中,联接界面的聚合物软化后产生压力跳变,以该信号切断超声波振动,实现了联接能量的自适应精确控制.应用虚拟仪器技术建立了控制系统,设计了基于力学状态反馈的超声波精密联接流程并进行了PMMA微器件的联接实验,对该方法的作用机制进行了分析,得到了对于该种材料及尺寸零件的最佳联接参数.