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ECR-PECVD制备纳米硅颗粒薄膜

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Indexed by:会议论文

Date of Publication:2009-08-15

Page Number:1

Key Words:ECR-PECVD;太阳能电池;薄膜;纳米硅颗粒

Abstract:太阳能电池是利用光生伏特效应,直接将太阳能转换成电能的光电器件。太阳能电池的研究已经有相当长的历史,提高太阳电池的光伏转换效率,降低制作成本是这一领域永恒的主题,也是有关科研工作者共同努力的方向。太阳能光伏电池的研发经历了三个阶段,目前研发和商

Pre One:ECR-PECVD法低温制备微晶硅薄膜及其结构研究

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