ECR-PECVD制备纳米硅颗粒薄膜
Release Time:2019-03-11 Hits:
Indexed by: Conference Paper
Date of Publication: 2009-08-15
Page Number: 1
Key Words: ECR-PECVD;太阳能电池;薄膜;纳米硅颗粒
Abstract: 太阳能电池是利用光生伏特效应,直接将太阳能转换成电能的光电器件。太阳能电池的研究已经有相当长的历史,提高太阳电池的光伏转换效率,降低制作成本是这一领域永恒的主题,也是有关科研工作者共同努力的方向。太阳能光伏电池的研发经历了三个阶段,目前研发和商