ECR-PECVD法低温制备微晶硅薄膜及其结构研究
Release Time:2019-03-11 Hits:
Indexed by: Conference Paper
Date of Publication: 2009-08-15
Page Number: 1
Key Words: ECR-PECVD;微晶硅薄膜;化学气相沉积;低温制备;等离子体刻蚀;结构研究;电子回旋共振;缓冲层;微波功率;响应特性;
Abstract: 微晶硅薄膜电池几乎没有光致衰退效应,且具有好的长波响应特性,因此微晶硅薄膜材料的研究成为热门课题。本文的研究目的就是采用微波电子回旋共振等离子体加强化学气相沉积的方法以廉价玻璃为衬底低温下制备微晶硅薄膜。实验分两组进行,根据以前的研究结果本文