Release Time:2019-03-11  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2009-08-15

Page Number: 1

Key Words: ECR-PECVD;薄膜;磷烷;n型硅

Abstract: 叠层薄膜太阳能电池作为新一代太阳能电池,正在受到越来越多的关注。硅作为当今研究最广泛的半导体材料,以其成熟的工艺技术及地球壳层中丰富的含量在新一代太阳能电池的应用中仍占有重要的地位。叠层电池中每一个单独p-i-n结构的电导率,带隙宽度,透光性都会影