副教授 博士生导师 硕士生导师
其他任职：辽宁省能源材料及器件重点实验室副主任
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学
材料表面工程
办公地点：新三束4#楼311室
联系方式：
电子邮箱：
开通时间： ..
最后更新时间：..
点击次数：
发布时间：2019-03-10
论文类型：期刊论文
发表时间：2010-04-15
发表刊物：人工晶体学报
收录刊物：CSCD、ISTIC、PKU、EI
卷号：39
期号：2
页面范围：299-303
ISSN号：1000-985X
关键字：掺铝氧化锌衬底 GaN薄膜 低温生长
摘要：利用射频磁控溅射在普通玻璃上制备了(0002)择优取向的ZnO:Al薄膜.采用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在ZnO:Al薄膜衬底上沉积了厚度为320 nm的GaN薄膜.利用高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和光透射谱等表征方法,研究了沉积温度对GaN薄膜的结晶性、表面形貌和透射率的影响.
